產(chǎn)品特點(diǎn)
寬量程測(cè)量
壓電與皮拉尼復(fù)合設(shè)計(jì)，測(cè)量范圍從大氣壓到高真空（5.0×10?2 ~ 1.5×10? Pa）
快速響應(yīng)
響應(yīng)時(shí)間 ≤100 ms，適用于動(dòng)態(tài)真空控制場(chǎng)合
雙控制點(diǎn)輸出
支持兩個(gè)獨(dú)立可設(shè)定控制點(diǎn)，提供光耦或邏輯電平輸出可選
溫度補(bǔ)償
內(nèi)置溫度補(bǔ)償，提升測(cè)量穩(wěn)定性
產(chǎn)品描述
型號(hào)規(guī)格
技術(shù)參數(shù)
應(yīng)用領(lǐng)域
產(chǎn)品概述
CX-PRN11 是一款集成了 MEMS 壓電傳感器與皮拉尼傳感器的復(fù)合寬量程真空計(jì)。該產(chǎn)品適用于從大氣壓到高真空（0.05 Pa）的連續(xù)測(cè)量，具備高精度、快速響應(yīng)和良好的重復(fù)性，專(zhuān)為真空鎖控制、連續(xù)真空工藝設(shè)備等應(yīng)用場(chǎng)景設(shè)計(jì)。
產(chǎn)品特點(diǎn)
無(wú)縫量程過(guò)渡
壓電與皮拉尼傳感器在測(cè)量上實(shí)現(xiàn)無(wú)縫切換，覆蓋寬泛的真空度范圍。
雙控制點(diǎn)設(shè)定
支持兩個(gè)獨(dú)立控制點(diǎn)，可通過(guò)軟件設(shè)定并輸出開(kāi)關(guān)信號(hào)。
多種通訊方式
支持 RS485（Modbus-RTU）通訊與模擬電壓輸出，方便系統(tǒng)集成。
工作原理
CX-PRN11 通過(guò) MEMS 壓電傳感器測(cè)量較高壓力段（大氣壓至中真空），通過(guò)皮拉尼傳感器測(cè)量中低真空段。兩種傳感器信號(hào)經(jīng)內(nèi)部電路融合處理，實(shí)現(xiàn)全量程連續(xù)輸出。
接口與接線說(shuō)明
D-Sub 9 針腳定義（公頭，焊接側(cè)）
| 引腳 | 信號(hào) | 說(shuō)明 |
|---|---|---|
| 1 | 電源 GND | 供電接地 |
| 2 | 設(shè)定值輸出 A | 控制點(diǎn) A 輸出 |
| 3 | 設(shè)定值輸出 B | 控制點(diǎn) B 輸出 |
| 4 | 模擬量輸出 | 0.0 ~ +10.3 VDC，對(duì)應(yīng)真空度 |
| 5 | RS485 D- (B) | Modbus 通訊線 |
| 8 | 模擬量參考地 | 模擬輸出參考地 |
模擬輸出對(duì)應(yīng)關(guān)系
輸出電壓 U（單位 V）與壓力 P（單位 Pa）的換算公式：
P = 10 ^ ((U - C) / 1.286)，其中 C 為常數(shù)，與單位相關(guān)：
Pa: C = 3.572
mBar: C = 6.143
Torr: C = 6.304
CX-PRN11型號(hào)規(guī)格說(shuō)明
CX-PRN11壓電皮拉尼復(fù)合寬量程真空計(jì)提供多種配置選項(xiàng)，用戶(hù)可根據(jù)具體應(yīng)用需求選擇不同的真空接口、通訊方式和控制點(diǎn)輸出類(lèi)型。
型號(hào)命名規(guī)則
CX-PRN11的型號(hào)由基礎(chǔ)型號(hào)和三位配置代碼組成：
CX-PRN11 A01
第一位 真空接口類(lèi)型
第二位 數(shù)字通訊方式
第三位 控制點(diǎn)輸出類(lèi)型
配置選項(xiàng)表
| 配置類(lèi)型 | 代碼 | 說(shuō)明 | 適用場(chǎng)景 |
|---|---|---|---|
| 真空接口 | A | KF16 (DN 16 ISO-KF) | 標(biāo)準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室系統(tǒng) |
| B | KF25 (DN 25 ISO-KF) | 中等流量真空系統(tǒng) | |
| C | 1/8" NPT | 北美標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng) | |
| D | VCR4 | 超高潔凈系統(tǒng)（半導(dǎo)體） | |
| E | VCR8 | 大流量超高潔凈系統(tǒng) | |
| 數(shù)字通訊 | 0 | 無(wú)數(shù)字通訊 | 僅模擬輸出應(yīng)用 |
| 1 | RS485 (Modbus-RTU) | 工業(yè)自動(dòng)化集成 | |
| 控制點(diǎn)輸出 | 00 | 無(wú)控制開(kāi)關(guān) | 僅監(jiān)測(cè)應(yīng)用 |
| 01 | 標(biāo)配光耦開(kāi)關(guān) | 通用控制應(yīng)用 | |
| 02 | 標(biāo)配邏輯電平 | PLC直接接口 | |
| XX | 客戶(hù)定制模式 | 特殊應(yīng)用需求 |
常見(jiàn)型號(hào)示例
| 型號(hào) | 真空接口 | 通訊方式 | 控制點(diǎn)輸出 | 典型應(yīng)用 |
|---|---|---|---|---|
| CX-PRN11 A01 | KF16 | RS485 | 光耦開(kāi)關(guān) | 標(biāo)準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室真空系統(tǒng) |
| CX-PRN11 B01 | KF25 | RS485 | 光耦開(kāi)關(guān) | 中等流量工業(yè)系統(tǒng) |
| CX-PRN11 C02 | 1/8" NPT | RS485 | 邏輯電平 | 北美標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)系統(tǒng) |
| CX-PRN11 D01 | VCR4 | RS485 | 光耦開(kāi)關(guān) | 半導(dǎo)體真空鎖 |
| CX-PRN11 A00 | KF16 | RS485 | 無(wú)控制開(kāi)關(guān) | 純監(jiān)測(cè)應(yīng)用 |
材質(zhì)說(shuō)明
CX-PRN11真空計(jì)的接液部分提供多種材質(zhì)選項(xiàng)，以適應(yīng)不同介質(zhì)和工藝環(huán)境：
| 材質(zhì) | 材質(zhì)名稱(chēng) | 特性 | 適用介質(zhì) |
|---|---|---|---|
| SS304 | 304不銹鋼 | 標(biāo)準(zhǔn)耐腐蝕、經(jīng)濟(jì)實(shí)用 | 一般工業(yè)氣體、干燥空氣 |
| SS316L | 316L不銹鋼 | 高耐腐蝕性、低碳含量 | 腐蝕性氣體、化學(xué)蒸氣 |
| 可伐合金 | 鐵鎳鈷合金 | 低熱膨脹、玻璃封接 | 高溫應(yīng)用、特種玻璃系統(tǒng) |
| 鎢燈絲 | 鎢材料 | 高溫穩(wěn)定性好 | 高真空、高溫環(huán)境 |
| 玻璃 | 硼硅玻璃 | 高潔凈、透明可視 | 實(shí)驗(yàn)室、光學(xué)系統(tǒng) |
選型指南
選擇適合的CX-PRN11型號(hào)時(shí)，請(qǐng)考慮以下因素：
| 應(yīng)用場(chǎng)景 | 推薦型號(hào)配置 | 理由 |
|---|---|---|
| 實(shí)驗(yàn)室真空系統(tǒng) | CX-PRN11 A01 (SS316L) | 標(biāo)準(zhǔn)KF接口，RS485通訊，光耦控制點(diǎn)，316L材質(zhì)耐腐蝕 |
| 半導(dǎo)體真空鎖 | CX-PRN11 D01 (SS316L) | VCR4超高潔凈接口，適用于半導(dǎo)體制造環(huán)境 |
| 工業(yè)過(guò)程控制 | CX-PRN11 C02 (SS304) | NPT接口，邏輯電平輸出，便于PLC直接控制 |
| 科研高真空系統(tǒng) | CX-PRN11 A01 (可伐合金) | 可伐合金材質(zhì)適合高溫和玻璃封接應(yīng)用 |
| 僅監(jiān)測(cè)無(wú)控制 | CX-PRN11 A00 | 無(wú)控制開(kāi)關(guān)，僅用于真空度監(jiān)測(cè)和數(shù)據(jù)采集 |
溫馨提示：以上型號(hào)為常見(jiàn)配置示例，上海瓷熙儀器儀表有限公司支持定制化配置服務(wù)。如果您有特殊需求，如特殊接口、定制通訊協(xié)議或其他特殊要求，請(qǐng)聯(lián)系我們的技術(shù)團(tuán)隊(duì)獲取定制化解決方案。
主要技術(shù)參數(shù)
| 重復(fù)性 | ±1% |
|---|---|
| 環(huán)境溫度 | 0~50℃ |
| 真空接口 | KF16 |
| 測(cè)量范圍 | 5.0×10?2~1.5×10?Pa |
| 響應(yīng)時(shí)間 | ≤100 ms |
| 精度 | 3.0×103 ~ 1.5×10? Pa: ±1% 讀數(shù)（MEMS壓阻段） 1.0×10? ~ 3.0×103 Pa: ±15% 讀數(shù)（皮拉尼段） 5.0×10?2 ~ 1.0×10? Pa: ±20% 讀數(shù)（皮拉尼段） |
| 最大耐壓 | 2.0×10? Pa（絕對(duì)壓力） |
| 信號(hào)輸出 | RS485 Modbus-RTU（默認(rèn) 9600 bps） 模擬電壓 0.0 ~ +10.3 VDC 雙控制點(diǎn)輸出（光耦或邏輯電平可選） |
| 供電電壓 | +16VDC ~ +30VDC，功耗 ≤1.5W |
| 接觸真空材質(zhì) | SS304, SS316L，可伐合金，鎢燈絲，玻璃 |
注：以上參數(shù)為標(biāo)準(zhǔn)配置，可根據(jù)客戶(hù)需求定制特殊規(guī)格產(chǎn)品。
應(yīng)用場(chǎng)景
CX-PRN11 適用于各類(lèi)需要寬量程、快速響應(yīng)真空度監(jiān)測(cè)與控制的工業(yè)與科研場(chǎng)合。
半導(dǎo)體制造
真空鎖（Loadlock）壓力監(jiān)測(cè)、PVD/CVD 設(shè)備真空控制
實(shí)驗(yàn)室研究
高真空系統(tǒng)、冷凍干燥、材料表面分析設(shè)備
工業(yè)真空工藝
真空爐、真空釬焊、真空封裝、真空浸漬
醫(yī)療器械
真空滅菌設(shè)備、呼吸治療設(shè)備真空監(jiān)測(cè)
光伏與顯示
薄膜太陽(yáng)能電池、OLED 鍍膜設(shè)備真空度控制
自動(dòng)化裝備
機(jī)器人真空抓手、自動(dòng)化真空搬運(yùn)系統(tǒng)
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