182-2103-2874

高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器

高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，精度高達(dá)0.5%F.S，配備高分辨率觸摸屏，響應(yīng)快。量程范圍0-3000SLM，適用于半導(dǎo)體、光伏、分析儀器等對精度要求嚴(yán)苛的場合。

產(chǎn)品概述高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器由質(zhì)量流量傳感器、層流分層件、流量控制器調(diào)節(jié)閥和放大控制電路等部件組成。它利用流動(dòng)流體傳遞熱量改變測量毛細(xì)管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)而制成，采...

測量精度 ±0.5%F.S
工作溫度 0 ～ 50℃
流量范圍 0~3000SLM
測控范圍 控制器閥控范圍 50：1 流量計(jì)量程比 100：1
數(shù)字量 RS232/485，MODBUS 協(xié)議
產(chǎn)品描述
型號(hào)規(guī)格
技術(shù)參數(shù)
應(yīng)用領(lǐng)域

產(chǎn)品概述

高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器由質(zhì)量流量傳感器、層流分層件、流量控制器調(diào)節(jié)閥和放大控制電路等部件組成。它利用流動(dòng)流體傳遞熱量改變測量毛細(xì)管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)而制成，采用毛細(xì)管傳熱前后溫度差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量，不受溫度壓力的影響。

核心特點(diǎn)

高精度測量

準(zhǔn)確度±0.5%F.S，線性±0.5%F.S，重復(fù)精度±0.2%F.S

快速響應(yīng)

控制器響應(yīng)時(shí)間<0.25s，流量計(jì)響應(yīng)時(shí)間<0.15s

觸摸屏操作

高分辨率LCD觸摸屏，直觀操作，界面友好

工作原理

氣體質(zhì)量流量控制器卓越的精度、堅(jiān)固性及可靠性源于獨(dú)特的傳感器探頭。該密封探頭由兩個(gè)傳感元件組成——流量傳感器及溫度傳感器，能自動(dòng)校正溫度及壓力變化產(chǎn)生的影響。儀表電路將流量傳感器加熱到高于氣體溫度的一個(gè)常數(shù)值，然后測量氣體流量的冷卻效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質(zhì)量流量成正比的原理計(jì)算流量。

氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)

質(zhì)量流量控制器、質(zhì)量流量計(jì)出廠時(shí)一般用空氣或者氮?dú)鈽?biāo)定，實(shí)際使用中如果是其他氣體，必要時(shí)可進(jìn)行讀數(shù)修正，方法是以流量顯示儀顯示的流量乘以流量轉(zhuǎn)換系數(shù)。

氣體代號(hào)轉(zhuǎn)換系數(shù)氣體代號(hào)轉(zhuǎn)換系數(shù)
空氣0081.006氮?dú)?/td>0011.415
氬氣0041.415氮?dú)?/td>0131.000
氧氣0150.992氫氣0071.010
二氧化碳0250.737甲烷0280.719
氨氣0290.719氦氣0021.415

注：以上為部分常用氣體的轉(zhuǎn)換系數(shù)，完整的氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)表請參考產(chǎn)品說明書。對于混合氣體，其轉(zhuǎn)換系數(shù)需按特定公式計(jì)算。

流量控制器型號(hào)規(guī)格表

觸摸屏氣體質(zhì)量流量控制器提供多種型號(hào)，滿足不同應(yīng)用場景的需求：

量程類型型號(hào)代碼量程范圍精度接頭類型
低量程流量控制器CX-GMFC-CP-F10 ~ 100SCCM±0.5% F.Sφ3, φ6, 1/8", 1/4"
低量程流量控制器CX-GMFC-CP-F2100SCCM ~ 30SLM±0.5% F.Sφ3, φ6, 1/8", 1/4"
中量程流量控制器CX-GMFC-CP-F330SLM ~ 150SLM±0.5% F.Sφ8, φ10, φ12
中量程流量控制器CX-GMFC-CP-F4150SLM ~ 300SLM±0.5% F.Sφ8, φ10, φ12
大量程流量控制器CX-GMFC-CP-F5300SLM ~ 1000SLM±0.5% F.Sφ12, 法蘭
大量程流量控制器CX-GMFC-CP-F61000SLM ~ 2000SLM±0.5% F.Sφ12, 法蘭
大量程流量控制器CX-GMFC-CP-F72000SLM ~ 3000SLM±0.5% F.Sφ12, 法蘭

流量計(jì)型號(hào)規(guī)格表

觸摸屏氣體質(zhì)量流量計(jì)提供多種型號(hào)，滿足不同應(yīng)用場景的需求：

量程類型型號(hào)代碼量程范圍精度接頭類型
低量程流量計(jì)CX-GMFM-CP-F10 ~ 100SCCM±0.5% F.Sφ3, φ6, 1/8", 1/4"
低量程流量計(jì)CX-GMFM-CP-F2100SCCM ~ 30SLM±0.5% F.Sφ3, φ6, 1/8", 1/4"
中量程流量計(jì)CX-GMFM-CP-F330SLM ~ 150SLM±0.5% F.Sφ8, φ10, φ12
中量程流量計(jì)CX-GMFM-CP-F4150SLM ~ 300SLM±0.5% F.Sφ8, φ10, φ12
大量程流量計(jì)CX-GMFM-CP-F5300SLM ~ 1000SLM±0.5% F.Sφ12, 法蘭
大量程流量計(jì)CX-GMFM-CP-F61000SLM ~ 2000SLM±0.5% F.Sφ12, 法蘭
大量程流量計(jì)CX-GMFM-CP-F72000SLM ~ 3000SLM±0.5% F.Sφ12, 法蘭

注：以上為標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)，可根據(jù)客戶需求定制特殊量程、精度、接口和材質(zhì)。所有產(chǎn)品出廠通常用氮?dú)?N?)標(biāo)定，如需要使用其他氣體標(biāo)定，請?jiān)谟嗀洉r(shí)說明。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為：溫度---273.15K (0℃); 氣壓---101325 Pa (760mm Hg)。

選型指南

選擇適合的觸摸屏氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器時(shí)，請考慮以下因素：

考慮因素選擇要點(diǎn)建議
流量范圍根據(jù)實(shí)際應(yīng)用的最大和最小流量確定選擇量程比實(shí)際最大流量稍大的型號(hào)
氣體類型氣體種類，腐蝕性或非腐蝕性根據(jù)氣體選擇相應(yīng)的密封材料和轉(zhuǎn)換系數(shù)
控制需求只需測量還是需要控制測量選擇M(流量計(jì))，控制選擇C(控制器)
壓力條件工作壓差和最大耐壓確保產(chǎn)品耐壓高于系統(tǒng)最大壓力
信號(hào)輸出模擬量或數(shù)字量接口根據(jù)控制系統(tǒng)要求選擇
安裝環(huán)境空間限制，操作便利性觸摸屏便于現(xiàn)場操作和監(jiān)控

溫馨提示：使用氣體必須凈化，切忌粉塵、液體和油污。必要時(shí)加裝過濾器，如果流量控制器出口接有液體源瓶，應(yīng)在流量控制器出口加裝單向閥，防止液體回流損壞流量控制器。如果您不確定如何選擇合適的型號(hào)，我們的技術(shù)團(tuán)隊(duì)可以提供免費(fèi)的選型咨詢服務(wù)。

主要技術(shù)參數(shù)

測量精度 ±0.5%F.S
工作溫度 0 ～ 50℃
流量范圍 0~3000SLM
測控范圍 控制器閥控范圍 50：1 流量計(jì)量程比 100：1
數(shù)字量 RS232/485，MODBUS 協(xié)議
模擬量 0 ～ 5V、4-20mA、1 ～ 5V
最大耐壓 3MPa/10MPa
電氣連接 DB9、RJ11、5.5×2.1電源快插
漏率 1×10-9SCCSHe
底座材質(zhì) 316L
密封材質(zhì) 氟橡膠，氯丁橡膠，丁腈橡膠
接頭 φ3，φ6，1/8"，1/4"

注：以上參數(shù)為標(biāo)準(zhǔn)配置，可根據(jù)客戶需求定制特殊規(guī)格產(chǎn)品。

應(yīng)用領(lǐng)域

高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)領(lǐng)域，特別適合需要精密氣體流量測量和控制的場合。

半導(dǎo)體制造

用于擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入等工藝

化學(xué)工業(yè)

用于化工過程控制、反應(yīng)釜加注、混氣配氣系統(tǒng)

制藥行業(yè)

用于制藥過程中氣體流量精密控制和監(jiān)測

環(huán)保監(jiān)測

用于環(huán)境監(jiān)測、廢氣處理系統(tǒng)中的氣體流量測量

科研實(shí)驗(yàn)

用于實(shí)驗(yàn)室研究、分析儀器、氣相色譜儀等

真空技術(shù)

用于真空鍍膜、真空爐等設(shè)備中的氣體流量控制

光伏產(chǎn)業(yè)

用于太陽能電池板制造過程中的氣體流量精確控制

醫(yī)療設(shè)備

用于呼吸機(jī)、麻醉機(jī)等醫(yī)療設(shè)備中的氣體輸送控制

獲取定制化解決方案

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