氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）是如何工作的？
GN Instruments的氣體質(zhì)量流量控制器采用熱式原理。傳感器探頭由速度傳感器和溫度傳感器組成。
具體工作方式為：電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個常數(shù)值，然后測量氣體流過時的冷卻效果。保持恒溫差所消耗的電功率與氣體的質(zhì)量流量成正比，由此計算出流量。
GN Instruments的MFC精度達±1%F.S.，重復(fù)精度±0.2%F.S.，響應(yīng)時間1-4秒，流量范圍覆蓋0～3000SLM。